MBI-Mitarbeiter - Persönliche Daten

Dr. Herbert Legall

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MBI Publikationen

  1. Characterization of a laser-produced plasma source for a laboratory EUV reflectometer

    F. Scholze, F. Scholz, J. Tuemmler, G. Ulm, H. Legall, P.V. Nickles, W. Sandner, H. Stiel, L. van Loyen

    SPIE Proceedings Series 5037 (2003) 670-681
  2. A new laboratory EUV reflectometer for large optics using a laser plasma source

    L. van Loyen, T. Boettger, S. Braun, H. Mai, A. Leson, F. Scholze, J.Tuemmler, G. Ulm, H. Legall, P.V. Nickles, W. Sandner, H. Stiel, C. E. Rempel, M. Schulze, J. Brutscher, F. Macco, S. Muellender

    SPIE Proceedings Series 5038 (2003) 12-21